Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
- ISBN
- 978-5-9729-0337-5
- Объем
- 352
- Формат
- 148x210 мм
- Переплет
- Твердый; Полноцвет
- Год
- 2019
- Вес
- 0,558
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
