Основы технологии электронной компонентной базы
- ISBN
- 978-5-9729-0846-2
- Объем
- 204
- Формат
- 148x210
- Переплет
- Твердый; Полноцвет
- Год
- 2022
- Вес
- 0,359
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
