Каталог
Главная
→ Электроника
→ Основы технологии электронной компонентной базы
Основы технологии электронной компонентной базы
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Характеристики
- 978-5-9729-0846-2
- Бодров Е. Э.
- 204
- 148x210
- Твердый; Полноцвет
- 2022
- 0,359
+7 911 512-48-48