Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники
- ISBN
- 978-5-9729-1316-9
- Объем
- 352
- Формат
- 148х210
- Переплет
- Твердый; Полноцвет
- Год
- 2023
- Вес
- 0,547
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
