Технология интегральных микросхем
- ISBN
- 978-5-9729-1232-2
- Объем
- 244
- Формат
- 148х210
- Переплет
- Твердый; Полноцвет
- Год
- 2023
- Вес
- 0,411
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
