Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
Первая в России монография по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испытании устройств и систем микроэлектроники и нанотехнологий.
Впервые подробно описаны средства измерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного производства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм: Keithley, Tektronix, Agilent Technologies, LeCroy, R&S и др. Особое внимание уделено анализу и генерации тестовых сигналов, измерению их параметров в области малых и сверхмалых времен, измерению сверхмалых токов и напряжений, анализу импеданса и иммитанса цепей, измерениям статических и динамических характеристик полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и др.
Является самым крупным обзором современных зарубежных и отечественных измерительных приборов на рынке России и мира.
Для инженеров, научных работников, аспирантов, преподавателей и студентов вузов и университетов технического и классического типов.
Характеристики
- 978-5-94074-626-3
- Афонский А.А., Дьяконов В.П.
- 688
- 70x100/16 (170x240 мм)
- Твердый
- 2011