Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении.
Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов.
Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы – плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны.
Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона.
Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
Характеристики
- 978-5-7782-1560-3
- В.М. Геллер, В.А. Хрусталев
- 298
- 60*90 1/16
- Твердый
- 2011