Автор книг

Родионов Юрий Анатольевич


Кандидат технических наук, доцент кафедры микро- и наноэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники.
Автор 85 научных трудов, 48 патентов и изобретений. Преподает дисциплины «Физическая химия и кристаллография полупроводников и диэлектриков», «Базовые технологические процессы производства интегральных микросхем», «Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства».
Имеет опыт преподавания указанных дисциплин в технических университетах Китая, Норвегии, Германии. Область научных интересов – ионно-плазменные технологии и оборудование в микро- и наноэлектронике.

КНИГИ АВТОРА