Основы технологии электронной компонентной базы

Бодров Е. Э.
860₽
ISBN
978-5-9729-0846-2
Объем
204
Формат
148x210
Переплет
Твердый; Полноцвет
Год
2022
Вес
0,359

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.

Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Также советуем посмотреть