Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. 2-е изд.

Родионов Ю. А.
1 350₽
ISBN
978-5-9729-2209-3
Объем
352
Формат
148х210
Переплет
Твердый; Полноцвет
Год
2025
Вес
0,543

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Также советуем посмотреть